lò PECVD

1. Loại: Hệ thống PECVD vùng kép loại trượt 1200 độ
2. Số pha: Một pha
3. Loại cặp nhiệt điện: Loại K
4.Model:TOB-DSP-1200 độ -PECVD
5.MOQ: 1 bộ

Gửi yêu cầu

Nói chuyện ngay

Giơi thiệu sản phẩm

Hệ thống PECVD vùng kép loại trượt 1200 độ

Sự chỉ rõ

Người mẫu	TOB-DSP-1200 độ -PECVD-I	TOB-DSP-1200 độ -PECVD-II		TOB-DSP-1200 độ -PECVD-III	TOB-DSP-1200 độ -PECVD-IV
Quyền lực	3KW	3KW		4KW	4KW
Kích thước ống lò (mm)	Đường kính 60(OD) X1800mm	Đường kính 80(OD) X1800mm		Đường kính 100(OD) X1800mm	Đường kính 120(OD) X1800mm
Kích thước	1800X410X610	1800X410X610		1800X460X660	1800X460X660
Điện áp nguồn	220V
Số pha	một pha
Chế độ điều khiển	Kiểm soát nhiệt độ Yudian 30 phần chỉ có thể sử dụng điều chỉnh nhiệt độ PID. Kiểm soát nhiệt độ FP93 (từ Nhật Bản) (Thay thế các dụng cụ nhập khẩu với một khoản phí bổ sung) Kiểm soát nhiệt độ chương trình 1,40 phần có thể được chia thành chương trình nhóm 4,2,1, nếu chương trình được chia thành bốn nhóm, mỗi đoạn chương trình 10, Điều khiển PID 2,6 nhóm, nhiệt độ thấp, trung bình và cao, mỗi nhóm có thể có một bộ PID, sao cho mỗi phân đoạn có khả năng điều khiển nhiệt độ rất chính xác.
Chế độ kiểm soát nhiệt độ	PID thông minh
Bảo vệ và hiển thị kiệt sức	Đúng
Bảo vệ quá nhiệt	Đúng
Bảo vệ quá dòng	Đúng
Kiểm soát độ chính xác	+/- 1 độ
Cò súng	Kích hoạt chuyển pha
SCR	106 / 16E Đức Simon Kang
Nhiệt độ tối đa của vùng nhiệt độ 1,2	1200 độ
Vùng nhiệt độ 1,2 Nhiệt độ định mức	1150 độ
Độ nóng	Nhỏ hơn hoặc bằng 30 độ / phút (Có sẵn theo yêu cầu sửa đổi)
Tốc độ gia nhiệt khuyến nghị	Nhỏ hơn hoặc bằng 15 độ/phút
Loại cặp nhiệt điện	loại K
Chiều dài sưởi ấm vùng nhiệt độ 1,2	205mm
Nhiệt độ bề mặt xung quanh	Nhỏ hơn hoặc bằng 45 độ
Nguồn RF plasma	Phạm vi công suất đầu ra		0-500W
	Công suất phản xạ tối đa		10W
	Tần số tín hiệu		13,56MHZ ± 0,005%
	Tiếng ồn		<30 dB
	Làm mát không khí		Phương pháp làm mát
	Nguồn đầu vào		208-240V 50 / 60HZ
Các thông số chính của hệ thống cung cấp GX	Phạm vi tiêu chuẩn		Bộ điều khiển dòng proton 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (bạn có thể chọn bất kỳ quy mô nào)
	Sự chính xác		± 1.5%
	Giảm áp suất		<0.01MPa
	Độ lặp lại		± 0.2% F.S
	Tối đa Áp lực vận hành		3MP
Hệ thống ống xả VS{0}}.1	Nguồn cấp		220V / 380V 380W
	Tốc độ bơm		2L / S
	Máy đo chân không điện trở		ZDR-I
	Phạm vi đo chân không		0.1-10 5 Pa
	Bơm chân không		VRD-8
	Ống sóng		KF25X1000mm
	Hệ thống chân không		10 -1Pa