Hộp găng tay và máy phủ chân không

Mô hình:TOB-GB-ZK

Ứng dụng

Nó chủ yếu được sử dụng cho nghiên cứu thực nghiệm và ứng dụng perovskite pin mặt trời, OLED và PLED, chuẩn bị chất bán dẫn, v.v.

Nguyên tắc làm việc

Hệ thống này được tích hợp với hệ thống phủ chân không và hệ thống hộp găng tay, có thể hoàn thành quá trình bay hơi màng mỏng trong buồng bay hơi chân không cao, đồng thời lưu trữ, chuẩn bị và kiểm tra các mẫu sau khi bay hơi trong môi trường khí trơ có độ tinh khiết cao trong hộp găng tay.

Thuận lợi

Sự kết hợp giữa lớp phủ bay hơi và hộp găng tay giúp thực hiện quá trình sản xuất bay hơi, đóng gói, thử nghiệm và các quy trình khác khép kín hoàn toàn, do đó toàn bộ quá trình chuẩn bị thiết bị và tăng trưởng màng được tích hợp cao trong một hệ thống khí quyển môi trường có thể kiểm soát hoàn chỉnh, loại bỏ ảnh hưởng của các yếu tố không ổn định trong môi trường khí quyển trong quá trình chuẩn bị các mạch diện tích lớn hữu cơ và đảm bảo chuẩn bị các mạch và thiết bị quang điện tử hữu cơ diện tích lớn, hiệu suất cao.

Hệ thống phủ phún xạ magnetron đa năng

Ứng dụng chính

Nó được sử dụng để chuẩn bị các loại màng kim loại, màng bán dẫn, màng điện môi, màng từ tính, màng quang học, màng siêu dẫn, màng cảm biến và màng chức năng với nhiều nhu cầu đặc biệt khác nhau.